高純氮 純度：99.999% 高純：99.9999%

中文名 高純氮

英文名：high purity nitrogen

性質：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體

相對密度：ds(21.1℃，空氣=1)0.967

氣體密度：1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)

液體密度：808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)

CAS注冊號：7727-37-9

相對分子質量：28.013

熔點：63.15K,-210℃,-346oF

沸點：101.325kPa(1atm)時 77.35K,-195.8℃,-320.44oF

在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點火源著火爆炸。用排風機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻?？捎渺F狀水噴淋加速液氮蒸發，但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。